Нанесение карбида кремния на шлифовальный диск

Нанесение карбида кремния на шлифовальный
круг Шлифовальный круг. Шлифовальные диски являются важным технологическим оборудованием для производства кремниевых пластин для СБИС в полупроводниковой промышленности. Шлифовальные диски из керамики карбида кремния можно шлифовать и полировать с высокой скоростью благодаря высокой твердости шлифовальных дисков и низкому коэффициенту износа и теплового расширения кремниевых пластин. Особенно в последние годы размер кремниевых пластин становится все больше и больше, что выдвигает более высокие требования к качеству и эффективности шлифования кремниевых пластин. Использование керамических шлифовальных дисков из карбида кремния значительно улучшит качество и эффективность шлифования кремниевых пластин.