Нанесение карбида кремния на шлифовальный диск
Нанесение карбида кремния на шлифовальный круг Шлифовальный круг. Шлифовальные диски являются важным технологическим оборудованием для производства кремниевых пластин для СБИС в полупроводниковой промышленности. Шлифовальные диски из керамики карбида кремния можно шлифовать и полировать с высокой скоростью благодаря высокой твердости шлифовальных дисков и низкому коэффициенту износа и теплового расширения кремниевых пластин. Особенно в последние годы размер